yhden luukun palveluksessa
Newtek-kaasu esittelee huippuluokan PSA: n (paineen kääntöadsorptio) hapentuotantojärjestelmä, joka on erityisesti suunniteltu puolijohteiden valmistusympäristöihin. Tämä modulaarinen ratkaisu tuottaa 99,5% erittäin korkeaa puhtautta happea virtausnopeudella 5-3000 nm³/h, ja siinä on älykkäitä integraatioominaisuuksia puhdashuoneiden toimintoihin.
Ydin tekniset edut
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% O₂ puhtaus
± 0. 5% pitoisuuden stabiilisuus reaaliaikaisen laserkaasuanalyysin avulla
0. 1μm monivaiheinen suodatus (HEPA+ULPA) varmistaa ISO-luokan 3 vaatimustenmukaisuuden
- 30% pienempi virrankulutus kuin tavanomaiset järjestelmät
- Lämmön talteenottojärjestelmä vähentää lämpökuormaa FAB -ympäristöissä
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Skaalautuva liukuun kiinnitetty muotoilu tukee 20% -200% kapasiteetin laajennusta
Ilmanpuristusyksikkö (öljytön vieritystekniikka)
Puhdistustorni (automaattinen TSA: n kosteuden poisto)
Älykäs ohjauskaappi (PLC+HMI SECS/GEM -protokollalla)
Puolijohdeprosessisovellukset
✔ Lämpöhapetus
Tarkkuus O₂ -syöttö portioksidin kasvulle (2-200 Å paksuuden ohjaus)
✔ Kuiva etsaus
Plasmavakasta kaasun tarjontaa nanomittakaavan kuviointiin
✔ CVD -kammion puhdistus
Erittäin kuiva happi hiukkasten saastumisen ehkäisyyn
✔ kiekko hehkutus
Korkean levyn ilmakehän hallinta lisäaineen aktivoinnille
Älykäs seurantajärjestelmä
Reaaliaikainen epäpuhtauksien seuranta (PPB-tason havaitseminen)
Ennustava ylläpito AI -algoritmilla (98% tarkkuus)
Etädiagnostiikka IIOT -alustan kautta (OPC UA/MTConnect)
Semi F 5-0202 Puhdaskaasustandardit
CE/UL/ETL -sähköturvallisuussertifikaatti
ISO 14644-1 Luokka 3 Puhdasyhteensopivuus
Tarjoamme
▲ Globaali tekninen verkosto:24/7 monikielinen tuki<4hr response time
▲ Elinikäisen optimointiohjelma:Vuotuinen tehokkuustarkastus- ja molekyyliseulan korvauspalvelu (1- vuosi takuu)
▲Mukautetut ratkaisut:Räätälöity integraatio AMHS/MMC -järjestelmien kanssa
ja kaasun talteenottojärjestelmän suunnittelu
Ota yhteyttä puolijohdekaasuasiantuntijoihimme
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Suositut Tagit: Puolijohde, Kiinan happigeneraattori puolijohdevalmistajille, toimittajille
